封装工艺中,薄膜的质量是基础。EVATEC的薄膜沉积技术通过以下方式筑牢这一基础: - 纳米级厚度控制:借助先进的磁控溅射与PECVD(等离子体增强化学气相沉积)技术,可将薄膜厚度误差控制在±1%以内。这样的精度为何重要?因为封装中引线键合区域的薄膜厚度不均,会导致电流分布失衡,进而引发芯片过热。 - 材料附着力强化:通过预处理工艺增强薄膜与基底材料的结合力,经实测,其薄膜剥离强度较传统工艺提升30%以上。在实际生产中,这意味着芯片在高温焊接或长期使用中,薄膜层不易出现脱落,大幅降低了产品报废率。